机器人(300024.SZ)：半导体装备业务产品主要为自主研发的真空机械手及集束型设备挤上头条

来源：格隆汇

格隆汇5月24日丨有投资者在互动平台向机器人(300024.SZ)提问，公司是否涉及高端半导体装备领域？目前进展如何？

公司回复：公司半导体装备业务产品主要为自主研发的真空机械手及集束型设备，包括：大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台，主要应用在刻蚀、CVD、PVD、CMP、Descum、立式炉等工艺环节及领域，服务的下游行业是半导体工艺设备厂商。